二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DP #9083612 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DP是TEL(TOKYO ELECTRON)提供的用于半导体制造的领先蚀刻器/asher。这种先进的工具提供了许多强大的功能,使其成为处理来自多种材料的晶片的理想选择,包括硅、石英、铝和金属氧化物半导体(MOS)材料。TEL Unity 85DP是一个双口袋蚀刻器/asher,具有自动晶圆处理设备,最多可容纳15个口袋。该工具能够在其两个蚀刻/缓冲循环中的每个周期中处理多达8个晶圆。它配备了一个高效的八级多元素电容器阵列,可以精确控制溶液流量、温度和压力。它还可以提供各种材料的快速蚀刻,以满足严格的工艺规范。TOKYO ELECTRON UNITY 85DP拥有先进的控制系统,提供自动化的操作和维护功能。它配备了图形用户界面以及并行和串行通信端口,以实现高效的数据传输。它还通过内置内存提供数据记录和跟踪功能,用于存储进程代码和跟踪文件格式文件。Unity 85DP具有广泛的安全功能,可保护操作员和环境免受处理危险化学品的危险。它具有固有的安全特性,如温度稳定装置、残渣清洗机、颗粒过滤机、再循环工具和自动释放压力资产。该工具还具有有用的生产数据报告功能,可提供有关晶圆特性和结果的详细信息。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON Unity 85DP在蚀刻和灰化各种材料方面提供了先进的性能,以实现更高效、更经济高效的半导体制造工艺。它的自动化操作和安全功能使操作员能够完全安心地工作,保证质量和可靠性。凭借其全面的监控和数据记录功能,TEL Unity 85DP提供了一种以最高效率优化和控制流程的工具。
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