二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 88DD #146068 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 88DD是为先进的半导体加工而设计的蚀刻器/asher。具有超大阳极尺寸的手持式光头，是高长宽比特点的高效蚀刻和灰化工艺的理想选择。此蚀刻器/Asher具有两步蚀刻工艺,可提供精确的结果,同时提供最小的碟片、侧壁粗糙度和蚀刻损坏。这允许更高的地形，以及高长宽比和高长宽比线性，从而提高产量。此外，TEL Unity 88DD的高分辨率光头为所有蚀刻和灰化应用提供了卓越的分辨率和锐利的边缘清晰度。TOKYO ELECTRON UNITY 88DD的另一个特点是，一种高温氙气等离子体源，它使工艺具有灵活性，并提高了所有干蚀刻应用的选择性。主动提升功能可用于创建达到厘米深度的结构,从而实现更大的过程重复性、均匀性和控制。Unity 88DD的高级系统管理包括一台主机计算机，用于显示流程、设置和配方数据，以及温度和压力监控系统。这使用户能够同时监视多个参数并同时查看参数,以确保完整的流程准确性。远程操作员界面提供对所有组件的即时访问,以促进有效的流程管理和故障排除。最后,TEL/TOKYO ELECTRON Unity 88DD是为长期可靠性和可靠性而设计的,其生命周期可达100,000次操作,确保用户获得最高的可靠性和性能。TEL Unity 88DD是用于先进半导体加工的最先进的蚀刻和asher应用的最佳选择。