二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #133474 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是为半导体市场设计的最先进的蚀刻器或asher。TEL Unity EP具有无与伦比的处理功能,可确保精确、可重复的设备几何形状,而与应用程序无关。TOKYO ELECTRON UNITY-EP基于高度模块化的设计理念，使其能够量身定制以满足广泛的需求。该系统包括三个主要特点：一个工艺室、一个电源和一个微处理中心。另外还包括三个模块，提供晶圆加工、湿式台式清洁和蚀刻传感能力等附加功能。TEL UNITY-EP的加工室由不锈钢构成，具有高温膨胀系数。该腔室的设计能够承受恶劣的加工条件，并且能够连续运行长达一年而无需维护。顶部安装的负载锁允许高速处理和快速访问基板。TOKYO ELECTRON UNITY EP中使用的电源是一种四级直流脉冲控制系统，可在广泛的工艺条件下产生精确、可重复的蚀刻参数。这样可以确保精确的几何形状和精确的密度控制。UNITY-EP的核心是微处理中心，它基于最新的技术。这个微处理核心包括精密的本地和全球温度控制、先进的过程监控和PD检测。该系统还包括一个配方编辑器，允许用户设置和自动化他们的蚀刻配方。Unity EP的另外三个模块提供了额外的处理功能。晶圆加工模块是为最大限度地提高工艺吞吐量和消除颗粒污染而设计的。湿式台式清洁模块有助于确保以清洁高效的方式精确蚀刻。最后，蚀刻传感模块提供了关键蚀刻参数的精确监测和检测。总体而言，来自TEL的TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP是一款设计用于半导体行业的高度先进的蚀刻器或asher。它的功能就像一台上油良好的机器，无论工艺条件如何，都能提供精确和可重复的几何形状和密度控制。该单元还有一个强大的硬件和软件模块集群作为后盾，允许用户量身定制该单元以满足他们的需求。