二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9084596 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款具有革命性设计的高级蚀刻器/asher设备，使其成为先进的ashing和蚀刻应用的完美工具，如MEMS。它既通用又高效,具有广泛的功能以满足不同的需求。TEL Unity EP配备了全功能蚀刻机器人和I-line源，使用户能够产生高分辨率的蚀刻图样和精细控制的蚀刻深度。机器人利用图桉技术，能够准确勾勒出各种复杂的设计。I线光源设计具有精确的孔径形状，以提供更高的光学精度和重复性。TOKYO ELECTRON UNITy-EP也提供了一个准确可靠的ashing process。先进的工艺控制系统管理着机组的温度、压力和浓度，以保证卓越的灰度性能。此外，它的insitu压力控制器允许用户随着过程的进行调整压力，进一步确保了优异的效果。TEL UNITY-EP还具有自动清洗功能,允许以更快的速度重复循环。此功能显着减少了清洗时间,从而更容易维护蚀刻机/asher机。坚固而紧凑的设计还使其易于运输,使其能够从实验室转移到实验室。UNITY-EP是那些希望充分利用蚀刻和灰化工艺的人的完美解决方桉。其先进的设计和功能使其成为任何需要精确、速度和可靠性的组织的绝佳选择。