二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9084597 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是为电子制造应用而设计的高精度蚀刻/灰化设备。它具有100 nm控制稳定性的高精度蚀刻/灰化系统,能够蚀刻/灰化厚度在200 nm至10mm之间的半导体基板。TEL Unity EP具有一个连续可调节长宽比窗口（CARW）,允许建立用户定义的长宽比窗口。这样就可以精确地蚀刻/粉刷特定的设备几何形状。该机还配备了高分辨率激光对准机，以提高精度和可靠性。TOKYO ELECTRON UNITY-EP利用高真空（<25 mbar）提高蚀刻/灰度性能。这样可以确保清洁高效的蚀刻/灰化循环。该工具还包括一个高真空负载锁，可安全地将晶片送入和送出资产。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP具有先进的运动级控制器功能,可实现高速操作。车型配备了高精度的机电定位设备。这确保了蚀刻或粉刷图桉的精确放置。TOKYO ELECTRON UNITY EP提供了一个强大的软件套件，用于控制预编程和可定制的蚀刻/ashing过程。这包括高级流程控制功能。该软件包括一个图形用户界面,它简化了蚀刻/ashing过程设置,并为用户提供了高级监视和控制功能。TEL UNITY-EP非常灵活,可以配置为适合各种制造应用程序。可用于蚀刻/灰化包括硅、复合半导体、III-V材料在内的多种基板。它也可用于在单个晶圆上执行多个蚀刻/灰分过程。UNITY-EP是一个可靠、高性能的蚀刻/灰化系统,为用户提供关键电子制造应用所需的灵活性和准确性。