二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9144791 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP
ID: 9144791
晶圆大小: 8"
Ti / TiN CVD cluster system, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款高性能、多功能的蚀刻器/asher。它旨在为用户提供可靠、经济高效和广泛的处理能力。TEL Unity EP设备的底层架构是围绕多个专门的源控制器盒构建的,包括气体供应控制系统、过程监视器和控制控制台单元。这种统一的体系结构不仅促进了流程优化和用户交互的最小化,而且还带来了优越的单元性能。在加工能力方面,TOKYO ELECTRON UNITY-EP 蚀刻器/asher能够在各种蚀刻/干燥化学中传递高蚀刻/干燥因子。温度在100至500摄氏度之间,入口压力高达0.5 Pa,它能够处理来自多种材料的晶片,如Si、GaAs和InP。有多种选项可用于定制TEL UNITY-EP 蚀刻器/asher,包括各种气体管道模块、机械管道更换器和远程访问模块。此外,该机器结构灵活,可以集成各种其他可用选项和升级,如激光干涉仪、门锁工具或自动脉冲导电弧。最后,TEL/TOKYO UNITY-EP 蚀刻器/asher通过丰富的安全功能、启动/静音功能和可选的自动脉冲电弧资产等多种设计功能,确保高水平的安全性和可靠的性能。为此,它还符合国际安全条例和标准,提供安全和高效的蚀刻/干燥工艺。总体而言,TOKYO ELECTRON/TOKYO Unity EP 蚀刻器/Asher对于要求高性能和强大工艺能力的苛刻蚀刻/干燥应用程序是理想的选择。其节能框架、可靠的体系结构和直观的控制相结合,形成了一种易于使用和高效的产品,使其成为半导体行业专业人士的理想选择。
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