二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9161272 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP（电子束粒子蚀刻器/Asher）是一种高度精确且用途广泛的装置，可以蚀刻多种材料，包括金属、陶瓷和聚合物。TEL Unity EP能够轻松地进行蚀刻,其质量很难与其他蚀刻器相匹配。TOKYO ELECTRON UNITY-EP具有高达2微米的超精确微加工精度,可实现更深、更精细的特性,具有卓越的重复性和紧密的公差。与其他蚀刻器相比,Unity EP具有许多明显的优势。其扫描电子束技术进一步增强了其功率和分辨率，使其能够以最小的最小特征尺寸快速蚀刻。它的可变粒子输出和偏转设备控制也允许最大化蚀刻速率和优化。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITy-EP的闭环热控制有助于减少晶圆加热，产生更一致的结果，提高工艺的重复性。TOKYO ELECTRON UNITY EP提供了蚀刻多种材料的能力，包括金属、陶瓷、聚合物，甚至多层光掩模。这种多功能性使得它成为从电子到纳米技术等众多行业的宝贵工具。此外，其先进的光束点聚焦系统在与温度补偿和腔室压力控制相结合的情况下取得了较好的效果。UNITY-EP除了具有高精度蚀刻能力外，还配备了一大堆功能，以实现高级工艺控制。例如，它的并行处理方法允许同时蚀刻多达四个基板，而其样品处理单元设计用于快速晶片装卸。它还利用复杂的软件控制，用于高级蚀刻技术，如即时蚀刻和使用多束。最后,它的零件维护功能包括清洁、改造和溅射,以获得最佳的基板性能.TEL UNITY-EP是一种可靠且用途广泛的蚀刻器/asher,非常适合各种应用。它能够以卓越的精度和可重复性对材料进行蚀刻，从而实现近乎完美的微加工效果。其简单而强大的控制系统和并行过程方法可用于最大程度地提高蚀刻速率和过程优化。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP将这些特性与先进的光束点聚焦机相结合，成为现代微加工和蚀刻应用的宝贵工具。