二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9180754 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款面向半导体行业的最先进的蚀刻器/asher。它是一种具有先进功能的工具，可提高蚀刻速率，提供均匀的蚀刻和优异的工艺再现性。利用电子束和离子束输出的双能量操作，对材料进行精确的图样设计。它是产生排便最小化的高产模式的有力工具。TEL Unity EP的主要特点是其能干的放电室和其堆迭结构处理序列。其放电室内衬高效绝缘体，防止热量改善，而高效气室为蚀刻或灰化过程提供了理想的精度。这可以通过高度精确的3维阵列实现,该阵列可实现两步蚀刻（或灰化）。TOKYO ELECTRON UNITY-EP还提供了一种改进的供气设备，具有配电式供气和新设计的喷射系统。前者提供更均匀的气体输送，后者提供更高的气体压力，使得能够在广泛的基板上进行均匀的处理。Unity EP还支持使用高级性能控制软件Multi-Etch Plan （MEP）。这允许用户轻松控制设备的蚀刻和基板温度、蚀刻速率以及气体溷合设置。此外,MEP可用于存储长达20天的数据,以便用户记录和跟踪其蚀刻过程历史记录。TEL UNITY-EP还具有标准的设备管理单元。这允许设备进行远程操作,并且还包含有关设备特定硬件和软件信息的信息。最后，有一个全面的维修机器。此工具允许操作员管理和监视蚀刻和灰化过程、错误历史记录以及日常维护。总之，UNITY-EP是一种先进的蚀刻器/asher，侧重于提供均匀的蚀刻和优异的工艺再现性。其高度先进的功能允许对材料进行精确的制图、改进的供气系统以及全面的维护资产。这种蚀刻器具有强大的能力，能够以最小的排便产生高产模式，是半导体工业中不可或缺的工具。