二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9188580 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款先进、高性能的电子束蚀刻器/asher。它采用高通量加工和低能蚀刻的独特组合，在各种材料上创建高度精确的图样。TEL Unity EP利用闭环电子束扫描设备和多种模式生成技术，在各种基板上创建精细的表面特征。为保证高精度，TOKYO ELECTRON UNITY-EP配备了极精确的束位置控制系统和先进的高速束偏转控制单元。闭环电子束扫描机能够在大面积上提供均匀的蚀刻模式。该机还能够通过匹配相同的光束位置来对齐不同的工艺特征，以确保可重复性。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP配备了强大的半导体模式发生器。这种模式发生器能够快速创建高度复杂的模式，用于蚀刻基于硅的晶片等材料上的精确特征。Unity EP创建的高度详细的模式允许使用传统的"空白"方法无法实现的高度高级蚀刻技术。使用TEL UNITY-EP进行蚀刻可在极低的处理温度下实现高通量操作。这种低能蚀刻工艺降低了高温梯度造成蚀刻不均匀的风险。这种蚀刻效率使它能够在保留基板核心特性的同时创建复杂的图样。该机还能够检测边缘锐度，以及控制蚀刻特征的角度和长宽比。TOKYO ELECTRON UNITY EP还具有高分辨率视频可视化工具和精确的束能控制功能。此资产可提高模式创建的精度,并允许模型在整个晶圆中正确匹配模式。总体而言，UNITY-EP是一种功能强大且高度精确的电子束蚀刻器/asher，被认为是创建超精确图样的行业标准。