二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9208203 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是为超高分辨率、高通量处理而设计的先进蚀刻/灰烬设备。该系统主要有三个组成部分：基站、精密等离子体源和可移动腔室。基站提供过程控制和监视器接口。等离子体源提供高能、高密度的等离子体，确保最佳蚀刻和灰化性能。可移动腔室可容纳工件，提供理想的腔室条件，便于不同蚀刻/灰化工艺之间的交换。该单位配备了多种流程控制和监控系统，以确保高效准确的处理。前置等离子体源由先进的数字电源调节，它为每个循环提供精确和一致的功率水平。机载机器诊断系统监控工件温度、等离子体放电、蚀刻/灰分速率等变量，允许及早检测过程偏差。还包括其他工具安全功能,以保护设备和环境的完整性。TEL Unity EP能够处理各种蚀刻和灰化过程，包括等离子体蚀刻、湿蚀刻、物理蚀刻和隔离蚀刻。通过资产的可编程控制模型支持等离子体蚀刻和物理蚀刻。复杂的蚀刻和灰化过程可以快速准确地执行,从而实现高吞吐量过程。TOKYO ELECTRON UNITY-EP还融合了自动诊断和内联传感器等多种高级功能，允许实时的过程观察和控制蚀刻/灰度循环。UNITY-EP专为强健、高精度的处理而设计。该设备采用先进的微处理技术和闭环控制，提供高精度和重复性。该系统还具有很高的能效，允许较长的过程周期和最小化的能耗。测试用于设备的所有组件的最佳性能,以确保最大性能和可靠性。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP是一款专门为超高分辨率处理而设计的蚀刻/灰烬机。该工具具有先进的工艺控制系统、精密等离子体源和可移动腔室，可确保各种蚀刻和灰化工艺的最佳蚀刻和灰化性能。该资产具有高能效和可靠性,为高性能、高通量处理提供了可靠的解决方桉。