二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9210332 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP
ID: 9210332
晶圆大小: 8"
Ti / TiN CVD Cluster system, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款高效的蚀刻器/asher,非常适合半导体晶圆加工或任何蚀刻或灰化需求。它具有轻巧、低调和坚固的设计,具有二维多层功能,极小的最小尺寸,以及高频振荡和金属弧线,可实现最佳蚀刻/灰烬性能。TEL Unity EP具有用户友好的界面和广泛的可用流程参数,因此可以轻松快速地执行流程。TOKYO ELECTRON UNITY-EP还附有多种可程式功能,让使用者可以从蚀刻/asching、光刻划线、标本处理、电镀、钝化和表面抛光等选项中进行选择。此外,TEL UNITY-EP还具有快速脉冲发生器、激光和其他光学器件,用于对工艺参数的快速反应。这样可以实现更快的过程,从而提高生产产量和成本节约。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP效率高,产生少量化学废料,是半导体加工的绝佳选择。它还能够处理非常精细的图样,同时保持精确的结果。此外,Unity EP还具有非常低的能耗,因为它能够在整个蚀刻/灰化过程中保持相同的温度,同时保持相对较低的真空。UNITY-EP坚固且使用安全,并且使用高度可靠和高效的组件制造。此外,系统本身还设计了先进的空气淋浴系统,以帮助防止碎屑和灰尘堆积在腔室内部。这确保了所有过程都能安全、一致地执行。TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款高度先进可靠的蚀刻器/asher,是完成多种任务的完美选择。它提供了极大的灵活性和控制性,同时要求最低限度的维护,并提供出色的工艺效果。这使得TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP成为任何半导体加工和相关工艺的绝佳选择。
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