二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9236828 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款高级蚀刻器/asher。适用于TFT-LCD、OLED、IC、MEMS制造等多种应用。它以出色的蚀刻和灰化性能以及对高级工艺的支持而闻名。TEL Unity EP是一款多站、多燃气蚀刻器/asher。它能够对蚀刻速率、均匀性、选择性、侧壁轮廓和无污染表面提供精确的工艺控制。它有一个自动充电补偿系统，以确保一致的过程结果，无论基板的质量或分层。它还配备了先进的气体输送和质量流量控制系统，以支持比传统蚀刻机快十倍的蚀刻速率。此外，它还能够支持具有多个蚀刻源和多种气体的复杂过程。此外，TOKYO ELECTRON UNITy-EP提供模块化设计，简化并加速维护与整合。它确保安装和维护asher所需的零件和组件更少。它还提供了增强的监测系统，以提高生产力和过程稳定性。过程控制系统具有直观的图形用户界面，允许简单的过程设置和配方开发。Unity EP非常适合广泛的应用,它具有先进的蚀刻和遮光专业知识以及对现代工艺的支持。它提供先进的过程稳定性和控制,为批量生产提供经济高效的解决方桉。此外,它能效高,是环保制造商的绝佳选择。