二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9237259 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款为光伏电池应用而设计的蚀刻/asher设备。该系统是TEL和TOKYO ELECTRON之间的协作，每一个都提供自己在该领域的独特专业知识。它旨在提供稳定、均匀的蚀刻和灰化工艺，以提高光伏电池的效率和产量。TEL Unity EP集成了一个2腔先进的设计，围绕着一个新开发的晶圆船结构建造，该结构经过优化，可以对薄硅晶圆进行均匀蚀刻和灰化。该单元设计为允许最佳晶圆均匀性和可重复性，具有独特的等离子体输送机，减少等离子体能量的差异，从而减少加工变化。该工具进一步采用了真正的两件式晶片船设计，大大提高了晶片批次顶部和底部的蚀刻均匀性。此外，先进的晶圆船设计与再生排气资产配合工作，以确保所有等离子体处于均匀的温度，从而实现一个一致的过程。TOKYO ELECTRON UNITy-EP还提供了最高的等离子体功率密度，确保了光伏电池的出色蚀刻。通过增强的蚀刻均匀性,TOKYO ELECTRON Unity EP在蚀刻均匀性方面比行业标准提高了6倍。它还为蚀刻和灰化提供了广泛的工艺配方,为用户定制工艺提供了更大的灵活性。Unity EP还配备了晶圆损耗计数器型号、自动调谐等离子控制、远程诊断等先进功能。这些特性结合实时晶圆温度读出等强大功能，使TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP成为光伏电池处理应用的理想选择。TEL UNITY-EP是一种综合性的光伏电池处理工具。其先进的蚀刻和灰化能力，结合可靠的工艺配方和先进的特点，使其成为任何光伏电池开发商或研究者的绝佳选择。而且UNITY-EP提供了提高的工艺效率和产量，让光伏电池开发者从他们的电池中获得最大的生产力。