二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9283079 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP（又称蚀刻器/asher）是一种高度先进的基于等离子体的蚀刻和灰化设备，用于快速、清洁和均匀的样品处理。它结合了等离子体蚀刻和灰化的能力，这是一个为了制造微电子装置而去除材料的过程，成为一个紧凑的自动化单元。TEL Unity EP利用空心阴极介电屏障放电（HDBD）等离子体源的功率来实现高蚀刻速率和基板选择性。这项技术设计用于湿法和干法,使用户能够灵活处理不同类型的样品。该平台基于直观的开放式体系结构，对所有流程提供完全可编程的控制。TOKYO ELECTRON UNITy-EP还具有直观的用户界面和图形显示功能，允许用户监控蚀刻和灰化过程参数。此系统可用于以10微米或更高的分辨率对电路板进行图样绘制,并通过0.5mm材料进行蚀刻。TOKYO ELECTRON UNITY EP单元针对集成电路（IC）生产进行了优化，并提供了几个方便IC制造的功能。例如，机器上装有一个石英基板支架，能够进行高温操作，适合与氮气、氙气、氧气、氙气-氧气溷合物等蚀刻气体一起使用。它还可以在广泛的参数范围内实现较高的蚀刻速率。平台还包括气体检测、超压保护、惰性气体循环等几个安全功能。此外，该工具还配备了一个离子陷阱，用于减少等离子体蚀刻过程中等离子体源的不稳定性。此功能可确保蚀刻过程的可靠性和可重复性。Unity EP还具有高度的灵活性，支持广泛的蚀刻化学和底物。它能够处理非导电材料和导电材料，如聚合物和金属，并且适合在基板上蚀刻各种通风孔、接触孔和特征。其庞大的资产量还使用户能够轻松容纳大型基板，同时蚀刻多个样品。总体而言,UNITY-EP是一种功能强大且用途广泛的蚀刻和灰化模型,能够处理各种基材和蚀刻工艺。凭借其先进的功能和直观的设计,它是IC制造行业中快速、清洁和均匀的样品处理的理想工具。