二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9366422 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一种高度可靠的自动化蚀刻/asher设备，用于半导体晶圆的制造。它使用紫外线光源系统、光阻测量系统和输送机系统在晶片上蚀刻、沉积和带状图桉。结果是提高了产品产量和质量。TEL Unity EP系统以最大容量200 mm晶圆的电子束蚀刻室、最大容量300 mm晶圆的等离子体灰烬为特色。适用于蚀刻和灰化多种材料，包括GaN、Ga As、SiC。该装置还配备了PAR（照片/酸/抗蚀剂）APx测量机，用于测量晶片上的电阻率和暴露区域。该工具是高度模块化的,这意味着可以轻松交换组件,从而实现更高级别的灵活性。组件包括紫外线光源、掩模对准器、光刻胶输送资产、紫外线固化模型、输送机设备、边缘取珠系统、激光麦克风、红外扫描仪和晶圆冷却装置。对所有组件进行编程以优化蚀刻、灰化和数据收集过程。这反过来又能提高产品产量和质量。TOKYO ELECTRON UNITy-EP配备了TEL"实时蚀刻监控"（RETM）Technology，可以让用户实时监控蚀刻进度。这使用户能够快速调整以帮助减少缺陷并提高产品质量。该单元还具有远程进程监视和记录机，允许用户记录和监视蚀刻过程和结果。统一平台将蚀刻机、等离子体粉碎机、灰后工艺设备结合为一个平台，提供了高度的灵活性和成本效益。集成架构允许快速处理和低维护，使其成为半导体晶圆制造操作的理想选择。