二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IeM #293807031 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IEM（干条蚀刻机械）是最新的干膜蚀刻技术。TEL Unity IEM能够在包括硅等半导体材料、金属、绝缘体和有机材料在内的各种基板上进行高精度蚀刻。也适用于表面清洁、氧化物去除、掺杂等蚀刻后工艺。TOKYO ELECTRON UNITY IEM具有强大的设计和三个独立的工艺室,能够一起处理直径可达500 mm的工艺作业。它具有高度的蚀刻精度，由空气加热器、强制空气冷却和集成过程控制设备组成。空气加热器允许精确复制设定的工艺配方，使最终产品均匀蚀刻。强制空气冷却系统快速冷却基板，避免不希望的热膨胀和提高产品性能。工艺控制单元还允许精确蚀刻,因为它继续监视条件,因此操作员可以根据需要调整工艺参数。Unity IEM使用安全高效的消耗性技术，每种基材的蚀刻材料释放量都恰到好处。它还具有可靠的疏散功能，确保蚀刻器产生的磁场不会到达基板，从而防止损坏或污染。此外,TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IEM具有直观的GUI,可用于提供配方步骤的详细说明,从而帮助操作员了解过程中所做的任何更改。此外,TEL Unity IEM设计方便用户-允许操作员调整蚀刻配方参数,如时间、压力和强度,而无需单独的控制机器。这还允许对蚀刻过程进行完全自定义,从而使用户能够根据自己的特定需求定制其过程。综上所述，TOKYO ELECTRON UNITY IEM是一款功能强大的干膜蚀刻工具，旨在实现对多种基材的精确蚀刻，从而实现高效的产品定制。它凭借空气加热、强制空气冷却、集成过程控制技术提供了优越的性能，而其消耗性技术和可靠的疏散有助于保持高效安全的运行。此外,用户友好的GUI没有出错的余地,因此无需单独的控制资产即可轻松调整蚀刻配方参数。借助Unity IEM,企业可以拥有一个可靠的干膜蚀刻解决方桉,适合其独特的参数和要求。