二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IeM #9128639 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IeM是一款下一代蚀刻器/asher，旨在提供高度精确可靠的蚀刻和灰化解决方桉。此蚀刻器/asher采用先进的蚀刻技术进行设计,以实现宽广的工艺窗口、改进的工艺一致性以及与设备组件的更好集成。它具有独特的全光谱蚀刻工艺控制,可提高蚀刻步骤的均匀性、更高的吞吐量和更好的钝化性能。它还包括用于配方开发的易于使用的控制设备,以及用于确保一致和可重复结果的高级机械模块（AMM）。TEL Unity IeM适用于多种蚀刻和灰化应用，包括高级封装、MEMS和晶圆级封装。其先进的设计提供了可靠的性能，提高了生产效率，提高了系统的统一性。它使用高性能的轻元素在大面积上创建均匀的照明,从而获得高效的蚀刻结果。创新的多头蚀刻单元（MHES）设计用于在单个机器中同时蚀刻和灰化过程,从而使刀具更小、速度更快,并提高了性能和灵活性。TOKYO ELECTRON UNITY IeM包括一个专利真空室设计,用于出色的蚀刻步骤均匀性和过程控制.资产还包括一个先进的机械捕获释放模型，以有效地处理样品。产品还设计方便安装，并与其他设备部件集成。该设备还包括配方开发软件，以确保准确的结果。最后，蚀刻器/asher系统包括各种安全功能，包括紧急关闭单元和内置的警告灯和警报。总体而言,Unity IeM是下一代蚀刻器/asher,旨在提供高度准确和可靠的蚀刻和灰化解决方桉。它具有先进的蚀刻和灰化技术、易于使用的控制系统以及多种安全功能,以确保准确和可重复的结果。这台机器适用于蚀刻和灰化多种先进技术，包括先进包装、MEMS和晶圆级包装。