二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 850DI #9092958 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 850DI是一款为中等规模工艺而设计的可靠、高性能的蚀刻器/asher。它具有出色的蚀刻和灰化能力、高吞吐量和可重复的工艺结果。TEL Unity II 850DI是一种感应耦合等离子体（ICP）蚀刻器/引导器,能够以高达1000W的等离子体源功率运行。它由一个独特的八面体电极反应器构成，能够高效地传递高等离子体功率，提供强大、高效的蚀刻和灰化。该设备还具有高精度晶圆/气体对齐器和低摩擦运动系数系统，可最大限度地提高阵列的均匀性，提高加工精度。该单元配备了一个独特的ET控制算法，可以自动调整气体流量，以及外部压力控制。控制算法能够自动补偿气流和压力变化，同时保持工艺条件均匀，最大限度地减少线缘粗糙度，提高工艺重复性。该机还包括提供实时气体压力和流量测量的气体输送线监测器。该工具还具有高精度零件加工的能力，并具有独立的腔室加热能力，以提高温度均匀性和可重复性。它带有内置的AR/VF详细信息以及可变电晕控制功能,可用于可靠的SE/BE/Z-Corona源。现场诊断确保晶片处理的一致性，而自适应反应性气体监测器根据工艺条件自动调整。TOKYO ELECTRON UNITY II 850DI还提供卓越的性能和超低二氧化硫使用量。它具有先进的晶片处理能力，如原位晶片小齿轮和用于高精度晶片对准的等离子体导轨，此外还有一个不需要预热时间的高可靠性晶片表。资产符合现代监管标准，限制颗粒物和二氧化硫排放。Unity II 850DI是高级蚀刻和灰化工艺的理想选择,可重复性、可靠性和卓越的工艺能力。凭借其高吞吐量、高效率的运行、极低的二氧化硫排放和就地诊断，它旨在全面满足所有客户的期望。