二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 855SS #9179093 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 855SS是为最苛刻的工业应用而设计的下一代蚀刻器/ashrer。该设备是用于细线特征和半导体产品的可靠、高效的蚀刻/烧蚀工艺。它有一个直观的人机界面与用户友好的程序和一个优化的彩色监视器精确控制蚀刻/灰烬过程。该工艺可以有效地工作在小至0.25微米的元件上，并且能够蚀刻/灰化高达150毫米的晶圆。它配备了用于有效热处理的高容量500立方米/秒干空气退火系统，以及全功能、自动响应的晶圆传输单元。机器的低压蚀刻/灰烬产生高质量的蚀刻/灰烬图样,材料损失最小,并且具有快速切换蚀刻/灰烬的功能,以及提高生产率的机制。该工具包括用于精确故障确定的高级诊断程序和晶圆召回的主文件,以便快速高效地恢复生产。该单元还具有高精度的E-Gun和B-Gun控制功能，以及光束传递控制，以加快工艺周期。总体而言,TEL Unity II 855SS是一种可靠、高效的蚀刻/灰烬资产,可有效生产高质量的细线特征和半导体产品。