二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DI #293829317 待售
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ID: 293829317
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Oxide etcher, 8"
(2) Chambers
Chamber type: IEM
1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85DI是一款先进的蚀刻设备,旨在满足等离子体、湿化学和抗蚀刻工艺的严格需求。它具有先进的固态电源,可让用户准确设置流程参数,同时消除不必要的维护。这种通用系统能够处理直径在75至450mm之间的基板,包括印刷电路板和半导体晶圆。通用基板支架能够安装标准基板和专用基板,各种可选基板可用于特定应用。该装置采用先进的流量控制机,提高了蚀刻的均匀性和均匀性。此控制工具可对最先进的蚀刻工艺精确有效地控制温度、压力和蚀刻速率。此外,该资产还配备了先进的计时模式,以确保蚀刻率的均匀性。TEL Unity II 85DI带有一个精确的单个凹陷单元,可以在整个蚀刻过程中准确、安全地固定基板,以及先进的晶片监控设备,以确保整个晶片上均匀的蚀刻结果。温度控制、飞行时间控制以及全面的用户界面等新功能为系统增加了便利性和用户友好性。该装置还包括一台先进的安全机器,以确保用户和蚀刻工具的安全。安全工具包括一系列警报,当资产设置过高或蚀刻速率过慢时会响起。此外,为确保晶片和基板的均匀性和适当清洁,该模型配备了精密石英喷嘴和洗涤刷。TOKYO ELECTRON UNITY II 85DI提供先进的蚀刻加工能力,适合多种蚀刻工艺。其精密的流量控制设备、先进的定时系统和安全单元相结合,使其成为可重复、准确蚀刻结果的高度可靠的机器。
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