二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DRM #9112879 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85DRM是一种蚀刻器/asher，设计用于在基板上沉积和蚀刻多种材料。该仪器使用两组反应性气体：用于蚀刻的低压区（LPA）和用于沉积的高压区（HPA），两者均通过端部安装的超高真空室提供。控制腔室内部压力，确保化学反应以理想速率和温度发生。该系统利用两个独立的工艺模块提供有效的物料加工。第一个模块是电子束蒸发器，在广泛的压力和温度范围内运行，以便在基板上沉积几纳米厚的多层薄膜。电子束蒸发器能够沉积金属、氧化物和电介质或材料，可能会受到进一步复杂的处理。第二个模块是一个集成的端站，由一组物理和化学蚀刻工具组成，如等离子体蚀刻、溅射蚀刻、离子铣削和冷等离子体溅射蚀刻。等离子体蚀刻，又称化学气相沉积（CVD），利用高能离子打破化学键，创建一个可以针对所需材料量身定制的等离子体场。在溅射蚀刻中，材料被施加高压电场侵蚀。除了低得多的温度外,用冷等离子体进行离子铣削和溅射蚀刻也有类似的作用.TEL Unity II 85DRM还包括了几个附加功能，如多过程喷嘴配置、过程控制和枪支控制系统，以及运动控制系统。工艺喷嘴配置可以用来配置孔的数量和类型，以及它们之间的距离，允许用户生成线条、圆形或其他结构。工艺和枪支控制系统允许用户调整工艺参数，以精确地将物料沉积在所需的图样中，而运动控制系统则提供两个线性轴，使得基板在加工过程中能够精确移动。总体而言，TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DRM是一种高效可靠的蚀刻和涂覆工艺工具，为用户提供一系列功能，帮助他们执行准确可靠的工艺。它有两个独立的模块,非常适合创建和设计纳米结构,是节省时间和成本的绝佳方法。