二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #159332 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II （TEU）是一款先进的asher/etcher,在半导体和纳米技术制造中有着广泛的应用。它能够提供高质量的统一蚀刻工艺,并提供一定程度的工艺灵活性和吞吐量。TEU有一个真空室，带有一个2.75英寸的圆形加工窗，可以容纳两艘6英寸或8英寸的晶圆船。工艺室的温度可以控制在环境和350°C之间，从而实现了广泛的化学过程。TEU还具有无氦冷却配置,非常适合低温下的化学过程并防止晶圆损坏。TEU采用化学气相沉积（CVD）工艺，涉及将气态试剂通过工件表面，以便沉积材料薄膜。TEU中的大气压CVD工艺可以在任何给定时间使用多达6个晶圆进行操作。TEU的蚀刻气体输送系统确保了快速均匀蚀刻的均匀的蚀刻气体供应，导致高质量的蚀刻以及低颗粒排放。TEU拥有一个创新的车载软件系统，可用于从头到尾控制和监控流程。它包括一个用户友好的图形界面，允许用户快速设置参数并优化给定应用程序的过程。该软件还可以通过网络PC远程控制TEU,从而方便地监控蚀刻过程。TEU是一种用途广泛、耐用且经济高效的蚀刻各种基材的系统。它非常适合蚀刻图样晶片和研究纳米技术等先进技术等应用。其出色的蚀刻性能、强大的软件和可承受的价格使其成为许多学科的从业人员的一个有吸引力的选择。