二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9078018 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II是一款来自备受推崇的日本厂商的全自动蚀刻器/asher。此蚀刻器/asher旨在最大程度地提高吞吐量并最大程度地减少停机时间。它具有创新的单晶片传输系统,使其能够快速高效地处理各种大小和配置的晶片。TEL Unity II还拥有精确、高压的CO2激光器,可用于晶圆表面各种材料的精确和可重复沉积。TOKYO ELECTRON UNITY II结合了两个高精度的端部效应子,使它能够安全准确地放置,并将晶片压在卡盘上。编子可以在精确的横截面视场上移动,提供晶圆表面上各层的精确对齐。卡盘上的比例/积分控制算法允许对每个晶片在卡盘上的位置进行精细调整,这确实是一个独特的特征。Unity II采用独特的两级等离子体蚀刻工艺,提供业界质量最高的成品晶片。这一过程使用不同的气体化学方法进行不同的蚀刻效果,提供蚀刻图样和最精确的重现性层。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II也具备高层探测能力,让工程师能够精确测量每层的厚度。该机还具有高度自动化的基片加载工艺;每个晶片都存放在一个盒式磁带上并送入机器。TEL Unity II提供与多种类型的工作站和软件的连接,允许工程师编辑设计并将其上载到机器,从而在设计和生产之间提供完美的连续性。此蚀刻器/asher设计为运行快速可靠,非常适合广泛的行业(例如半导体制造)使用。
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