二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9078020 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II是一款先进的多功能蚀刻器/asher,用于多种不同的行业,包括半导体加工和光刻。TEL Unity II能够将各种流程集成到单个设备平台中,从而实现可靠的流程一致性和可重复性,同时将生产和维护成本降至最低。TOKYO ELECTRON UNITY II具有专有的双模扫描技术(DMST),使得可以同时进行等离子体蚀刻、气相蚀刻和大气气体清洗。这种独特的功能以极低的成本实现了最先进的处理一致性。此外,Unity II拥有极其先进的蚀刻能力,能够处理各种面具和基板,蚀刻速率高,选择性好。凭借其先进的控制系统,可以保证所有工艺参数的一致性,包括压力、温度和等离子体条件。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II配备了多项先进的安全功能。这包括一个完全集成的晶圆监测系统,可以检测晶圆沉积或蚀刻性能的任何不规则性。在发生严重故障时,系统还会通过自动紧急关闭功能进行备份。超压释放装置有助于确保最佳安全和性能,同时防止设备暴露于不安全水平的高能等离子体中。TEL Unity II高效且用户友好,即使是没有经验的用户也可以轻松执行复杂的蚀刻过程。它的综合控制界面易于理解,能够对所有工艺参数进行精细而有效的控制。再者,TOKYO ELECTRON UNITY II具有倾斜角度调节和选择性叠加蚀刻等多项先进特性,允许使用者依据其特定要求微调蚀刻过程。通过将高级蚀刻功能和广泛的安全功能集成到单个集成平台中,Unity II能够提供无与伦比的可靠性级别。此外,其相对可负担性将使其成为许多业务的理想选择,并将提供极好的物有所值。凭借其先进的特性和可靠的性能,TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II是任何数量工业工艺的理想蚀刻器/asher。
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