二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9105196 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II是一种蚀刻器/asher，用于等离子体蚀刻和灰化过程。TEL Unity II具有专利的屏蔽室，它允许在蚀刻和灰化过程中离子、电子和中性粒子的紧密平衡。这确保了精确的蚀刻和灰化过程，而无需额外的气体再循环或有机污染。该设备也是高效的，使用优化的等离子体系统，以确保更大的均匀性蚀刻和灰化。TOKYO ELECTRON UNITY II允许通用的过程控制，包括腔室条件的自动控制、直流偏置、过程时间、压力和气流条件。这有助于消除猜测,并确保在整个蚀刻和灰化周期中得到一致的结果。该单元还包括一个主动室污染监测机，这有助于防止不必要的过程偏差由于颗粒沉积在腔壁。Unity II旨在同时控制等离子体蚀刻和灰化过程，允许用户同时调整参数和查看两种类型的过程。这有助于避免干扰,并允许该进程以最佳方式运行。此外，使用TEL/TOKYO ELECTRON UNITY III可以精确控制空气质量流动、过滤空气颗粒、蚀刻/灰化溷合数和氙蚀刻速率。它包括一种光发射光谱（OES），在排放过多的情况下通过关闭电源自动控制发射速率。此外，TOKYO ELECTRON UNITY II的设计目的是通过自动询问杂散带电粒子并防止它们通过过程室来最大程度地减少杂散磁场。总体而言,Unity II是一款可靠高效的蚀刻器/asher,具有广泛的过程控制功能。它的多功能性、安全性和一致性使其成为各种蚀刻和灰化工艺的理想机器。