二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9227407 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II是TEL Ltd为晶圆的精密处理而开发的蚀刻/asher设备。它旨在取代传统的昂贵的湿蚀刻工艺，并由于使用了高度精确的扫描电子束（SEB）工艺而提供了卓越的吞吐量和精度。它配备了软件控制的光束优化和均匀性校正，确保蚀刻结果满足可靠性和准确性的最高期望。TEL Unity II专为快速制造MEMS和纳米技术产品和微系统以及研发而设计。该机配备了多种光束扫描选项和可变射频功率，允许广泛的应用，如介电蚀刻、结晶蚀刻和两层之间材料的选择性蚀刻。该机还能进行溅射蚀刻，并配有最小化缺陷的自动工艺优化程序，从而达到尽可能高的产量。TOKYO ELECTRON UNITY II兼具高度通用性和人性化。它配备了一个载荷系统，允许选择和加载多达150个标准和非标准尺寸的晶片，降低人工成本，并消除手动处理。该单元还配备了各种专门设计用于满足每个应用程序独特要求的工艺室。它还具有一系列先进的诊断和控制接口，允许对光刻工艺进行持续的监测和调整。Unity II专为最大吞吐量、可靠性和准确性而设计。它配备了超大尺寸的光束点大小和用于精确光束控制的高压电子枪。其8级真空泵机允许快速疏散，降低污染风险。它还具有一系列安全和保护功能，包括在维护和清洁过程中覆盖电子束的高速快门，以及安全操作的双门检修口。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II是一款功能强大、可靠的蚀刻器/asher，非常适合多种高精度应用。其优越的精度和吞吐量，加上人性化的设计和先进的安全特性，使其成为精密晶圆加工的绝佳选择。