二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655II #293764223 待售

ID: 293764223
Oxide etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655II是一种在半导体制造工业中为集成电路(IC)处理而设计的蚀刻器或asher。它是一种高性能的设备,可以容纳大规模生产,提供市场上任何蚀刻器或石膏的最高吞吐量和生产率。该系统能够在硅片上清洗、蚀刻、粉刷和沉积各种材料,精度和精确度都很高。TEL Unity IIe 655II配备一个多室单元,支持两种蚀刻工艺--铝蚀刻(AE)和钛蚀刻(TE),以及两种灰化工艺--氙气灰化(AA)和氮气灰化(NA)。该机还配备了多种优化生产的功能和选项,包括优越的工艺控制、通用的基板级控制、用于灵活刀具配置的双盒式吊舱和模块化设计,以及最大限度地减少停机时间和最大化效率的自动维护。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655II具有先进的底物级控制资产,能够控制底物和晶圆温度、AE和TE工艺的气体条件以及化学浓度。这确保了对蚀刻过程的精确控制,从而提高了产量和产品质量。该型号还配备了自动化生产流程的先进作业调度设备,从组合处理到顺序处理,无需人工干预。这将人力成本降至最低,并提高吞吐量。Unity IIe 655II配备了多种安全功能,以确保晶片的安全高效处理。该系统配备了先进的泄漏监控器,确保完全防止气体泄漏和有害物质。该单元还配备了流程数据安全功能,以保护机密或专有数据。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655II还配备了可实时监控所有腔室和气体状况的自诊断机。这样可以确保最大吞吐量效率,并确保操作员完全安全。总体而言,TEL Unity IIe 655II是一种高级蚀刻器/灰化器,旨在在大规模生产环境中高效处理晶片。该工具能够为任何半导体制造商提供最高的吞吐量和生产能力。该资产配备了最先进的安全和过程控制功能,非常适合任何生产设施。
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