二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PD #9016203 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PD
ID: 9016203
晶圆大小: 6"
优质的: 2006
Oxide etcher, 6" (2) Chambers 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PD是为电子工业中的超精细加工而设计的蚀刻器/asher。能够以卓越的精度和速度执行高级蚀刻和灰化功能。TEL Unity IIe 655PD非常适合当今纳米技术应用所需的高级光刻技术。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PD具有创新的多区域设计,可独立控制每个工艺室。这允许对具有高吞吐量的超精细特性进行高级处理。多区域设计还提高了工艺灵活性,最大限度地提高了生产效率。扫描电子显微镜(SEM)允许直接观察蚀刻和灰化过程。这在蚀刻复杂图样或精细间距特征(如超大规模集成(ULSI)电路中的特征)时特别有用。SEM通过提供过程的实时图像来增强过程控制。UnityIIe 655PD使用专有的等离子体源,它提供均匀的能量分布和优异的蚀刻均匀性。这种蚀刻均匀性和工艺灵活性的结合使得TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PD高级光刻应用的理想选择。TEL Unity IIe 655PD还为直观的操作提供了一个简单且用户友好的界面。它支持大型兼容计算机网络,允许用户在进程运行时进行微调调整。这确保了取得最佳结果。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PD设计有特别的安全措施,以尽量减少操作危险。认证符合行业安全标准,如欧洲的CE认证和美国的UL认证。这样可以确保用户安全并提供额外的安心。总体而言,Unity IIe 655PD提供卓越的蚀刻和灰化性能,同时还提供先进的过程控制和优化的安全性。是先进光刻应用的理想平台。
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