二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293793647 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是为半导体加工而设计的先进asher/etcher。它含有获得专利的等离子体生成，促进了蚀刻的均匀性和精确度。此外,TEL Unity还具有由氧化物蚀刻、抗蚀剂条和最终钝化循环组成的专有三步蚀刻工艺。为这台机器供电的先进技术增加了吞吐量,并最大程度地减少了由于维护而导致的停机时间。TOKYO ELECTRON UNITY还具有自动负载锁，允许更快的处理。这是通过组合的Z级和自动晶片盒式磁带盒实现的,它提供了一个安全的环境,同时将流程配方保存在内存中以进行重复加载。Unity还可以更快地同时加载六个盒式磁带。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY结合了先进的过程控制和自动化能力以及监督视觉系统，以确保过程的一致性和可重复性。它还支持流程调整、加速坡道提升时间和新流程设置。这使得发现和精炼过程所花费的时间和精力大大减少。TEL Unity先进的离子植入功能能够将离子精确植入薄膜中。这样可以精确控制掺杂过程,从而在最终产品中获得更高质量的器件产量。TOKYO ELECTRON UNITY先进的水平等离子体源也允许在多个工序点同时蚀刻。Unity的软件包括易于使用的流程配方管理系统和有助于提高流程可重复性和质量的统计流程控制（SPC）系统。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY由Imagine平台提供动力，由TEL开发。该平台具有直观的图形用户界面（GUI）元素,易于编程和监视过程。TEL Unity可以处理300 mm的最大晶圆大小，并具有100级的清洁室等级。专门的建筑和工业级电气部件大大降低了污染风险，有利于从停电中快速恢复。总体而言，TOKYO ELECTRON UNITY是一款先进的asher/etcher，旨在提高吞吐量，减少长期维护。其获得专利的等离子体生成、三步蚀刻工艺、自动负载锁定和坚固的工艺软件使可靠的工艺具有更高的质量和产量。Unity还具有离子植入、自动晶片盒和SPC系统等多种高级功能,使工程师更容易编程和监控过程。