二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293796081 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PP是一种蚀刻器/asher，设计用于在一系列底物上沉积薄膜。这是一个大型的，工业能力的机器，具有四端点检测。对于需要非常精确的薄膜沉积的应用来说，这是一个不错的选择。TEL Unity IIe 655PP有一个大腔室，大约18 "x 30"（45 cm x 76 cm），并具有允许两个腔室同时沉积的双腔室设计。一个石英管炉（由四个500W红外灯供电）将每个腔室加热至最高500 °C的温度，机器的后部装有一个特殊的线圈，提供高达-100伏的基板偏置电压。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PP采用了先进的端点检测系统。它结合了四端点检测器（QED）和数字图像处理器（DIP），两者都嵌入到机器的控制器中。QED使用石英管内的四个红外探测器监测薄膜厚度和均匀性，而DIP则分析位于腔内的一个特殊相机拍摄的图像。这允许高度精确的薄膜沉积，并且可以给科学家关于蚀刻或灰化工艺质量的宝贵反馈。Unity IIe 655PP还具有执行等离子体蚀刻的能力，借助安装在腔内的等离子体源。这台机器的一个特殊功能是Spike-ID,它是一种先进的专有蚀刻技术,可精确创建小型结构或特征以及高纵横比结构。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PP是一个出色的蚀刻器/asher的一系列应用。其精密的端点检测系统和薄膜沉积和等离子体蚀刻能力使其成为需要高精度和小结构的超精密应用的绝佳选择。