二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 844DD #293586743 待售

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ID: 293586743
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Oxide etcher, 8" (2) DRM Chambers 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 844DD是来自TEL的Unity系列装置的蚀刻设备。它是一种多功能等离子体蚀刻沉积系统,旨在为用户提供高度精确的蚀刻沉积结果。844DD模型是一个双头装置,每个等离子体源提供最佳的蚀刻和沉积结果。该装置设计高效可靠,提供高精度和可重复性。该装置配备了多项功能,以确保精确的蚀刻和沉积。等离子体通过单级阻抗匹配电路产生,有助于产生更均匀的蚀刻和沉积结果。该装置还配备了可调节的射频发生器,可对等离子体处理中使用的功率范围进行调整。射频发生器提供恒定频率和扫描调制,有助于进一步完善蚀刻和沉积结果。该装置还配备了多项安全功能。当蚀刻室的盖子打开时,互锁开关会关闭等离子体源。该腔室采用集成真空装置,以帮助清洁过程。该装置的机柜还设计为确保热量均匀分布,防止对敏感部件的潜在损坏。844DD模型旨在支持各种蚀刻和沉积应用。它既能支持高密度等离子体蚀刻,又能支持深层反应性离子蚀刻的应用。它被设计成能够加工各种基材,包括金属、陶瓷和玻璃。该装置有一台高分辨率的光学机器供检查。该设备还配备了多种硬件和软件功能,包括数据集成接口、配方编辑器和集成气体工具。总体而言,TEL Unity IIe 844DD提供可靠和准确的蚀刻和沉积结果。它是一种强大的蚀刻资产,经过广泛的功能设计,以确保精确的结果。该装置还配备了多种安全功能,确保用户享有安全的工作体验。
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