二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 844DD #9377254 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 844DD是一种高速、中大容量的批量蚀刻和灰化设备，旨在满足研究和中小型生产设施的需求。Unity IIe配备了光刻胶、垫片蚀刻和CMP蚀刻/灰化室，允许处理直径可达8英寸（200毫米）的基板。内置CCD摄像机系统可直接观察腔内基板。Unity IIe的其他功能包括两级输出、同时蚀刻/灰分处理和加热EBR。Unity IIe由15.1英寸触摸面板控制器驱动，配备TEL U系列多内存单元。这台机器可以储存多达八百个食谱和一万个程序。为了提高生产率,控制器允许通过Web浏览器进行远程控制。Unity IIe具有强大的源示意图构造、多内存工具、两级输出反演和EBR控制功能,因此提供了高性能。源示意图构造允许稳定的进程能力，而多内存资产提供高速内存写入操作。两级输出逆变器提高了粒子收集性能，EBR控制特性扩展了工艺配方。在安全性方面，Unity IIe的设计符合FPD安全等级2中规定的严格要求。该模型集成了气体传感器、灭火器和自动停止压力等安全措施。总体而言,TEL Unity IIe 844DD是一种高性能的蚀刻和灰化设备,旨在为研究和生产设施提供可靠、高精度的加工。Unity IIe凭借其高速运行、内置CCD摄像头系统、先进的安全特性和高效的源示意图构造，是精密微蚀刻、基板蚀刻、CMP蚀刻/灰化的理想工具。