二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY IIE 845DD #9377255 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 845DD是微电子工业中先进的硅晶片蚀刻器/灰化器。它设计为蚀刻和灰硅晶片具有高精度和精确度。845DD 蚀刻器/asher利用3轴（x-y-z）机器人进行自动晶圆操作。它使用具有三个高分辨率线性级的精密晶圆机械手机器人，使晶圆能够在过程中的腔室和多个晶圆舱之间进行精确的转移，以及在过程腔室中对晶圆进行精确、高速的操作。晶片吊舱为晶片在加工过程中提供了安全稳定的环境。845DD蚀刻器/灰化器配备了主动冷却设备和晶圆加工室和晶圆吊舱的高效加热系统。主动冷却装置的温度控制精度为0.1°C,能够在短短几分钟内将晶圆加工室和晶圆吊舱冷却到-15°C的温度。加热机具有双区温度控制功能，能够将晶圆加工室快速加热至所需的设定温度。845DD 蚀刻器/asher还配备了先进的3D抵抗成像功能。这种能力包括激光蚀刻，用于以非平面方式绘制3D抗蚀剂的图样，允许在晶圆上形成复杂的3D结构。845DD 蚀刻器/asher还具有高级配方管理功能,可加快流程开发和优化速度。845DD 蚀刻器/asher能够同时处理多个晶片,其处理时间取决于要蚀刻/研磨的晶片类型和所需的工艺结果。根据应用情况，它可以蚀刻/灰晶片，横向或深度分辨率小至1nm。845DD 蚀刻器/asher还配备了可靠的安全工具和强大的监控资产，以确保平稳无误的操作。总体而言,TEL UNITY IIE 845DD为微电子行业提供了可靠、高精度的蚀刻器/灰化器。它具有先进的机器人技术和广泛的蚀刻和灰化功能,使其成为制造复杂的3D电子设备的合适工具。