二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85 DPATC #9091881 待售
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ID: 9091881
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
Etcher, 6"
Wafer type: Flat-zone
Processing type: Vacuum
Wafer loading type: Normal
(2) Chambers
Mass flow controller:
Gas No / Gas Name / MFC Size (SCCM)
Gas #1 SF6, 200
Gas #2 HE, 1 SLM
Gas #3 O2, 20
Gas #4 AR, 1SLM
Gas #5 CHF3, 100
Gas #6 CF4, 100
Pressure controller V/V:
Item / Make / Model
ISO V/V (PC1), FUJI SEIKI, 6000729
ISO V/V (PC2), FUJI SEIKI, 1616812
APC (PC1), VAT, 61140-PH52
APC (PC2), VAT, 61140-PH52
Gauge:
Unit / Make / Model / Range
Baratron, MKS, 622A02TAB, 2 Torr
Baratron, MKS, 622A02TAB, 2 Torr
Baratron, MKS, 622A11TAE, 10 Torr
Baratron, MKS, 622A01TAE, 1 Torr
System:
Description / Make / Model
Robot, YASKAWA, VS2A
Robot controller, YASKAWA, SRC-II 004
TMP (PC1), SEIKO SEIKI, STP-H751E
TMP controller (PC1), SEIKO SEIKI, STP-H751E
TMP (PC2), EDWARDS, STP-H751E2
TMP controller (PC2), SEIKO SEIKI, STP-H751E
Generator (PC1), DAIHEN, MFG-20SA
Generator (PC2), DAIHEN, MFG-20SA
Matcher (PC1), DAIHEN, MFM-20AS
Matcher controller (PC1)
Matcher (PC2), DAIHEN, MFM-20AS
Matcher controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
HDD (Data): HDS728080
AC rack (PCB):
SVA004a
SVA603
MVME162
TVB0002
TVB3101
TVB0008
TC (PCB):
COM
DIO1
DIO2
MAIO
ILK
PC1:
APC
DIO
MAIO
COM
TEMP
PC2:
APC
DIO
MAIO
COM
TEMP
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85 DPATC是一种等离子体增强反应性离子蚀刻器（PE-RIE），设计用于半导体器件制造等相关行业。该设备旨在为晶片或其他工件的蚀刻提供最大的性能、准确性和可重复性。Unity IIe 85具有精密的高真空室、高容量的吞吐量传输和先进的控制系统。该腔室耐涂层，为长期可靠性和高精度蚀刻而设计。Unity IIe 85 PE-RIE拥有大容量、3轴传输单元，最高温度为450°C。这台水平运输机提供精确的晶片传输和定位，保持晶片上均匀、恒定和可重复的蚀刻速率。腔室还提供精确的压力控制，确保过程参数保持不变。蚀刻速率可以实时调整，允许精确控制蚀刻过程的参数。利用Unity IIe 85实现了蚀刻过程的自动化,简化了过程以确保可重复和可靠的结果。该工具配备了"离线参数设置"功能,该功能允许在加载任何晶片之前输入和优化每个蚀刻过程的数据。然后利用可在室内和远程监测的实时监测资产，从室内监测和调整蚀刻过程。Unity IIe 85使用先进的控制技术来保持其高精度和重复性。该模型利用射频发生器产生等离子体，然后由压力、温度、气流和电流等多种参数调节。设备还利用IIe控制器调节射频发电机的电感。Unity IIe 85是一种先进、可靠的PE-RIE系统，设计用于半导体制造及相关行业。它提供了最高级别的性能、准确性和可重复性,并且能够通过实时监视和控制实现自动蚀刻过程,从而使用户能够获得最高级别的精度和生产吞吐量。
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