二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293645122 待售
网址复制成功！
单击可缩放
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一种先进的生产级单晶圆冲洗、蚀刻、ashing工具，用于45nm以下的工艺节点和更少的节点。这种蚀刻器/粉碎器的优点包括颗粒碎片最小化、残留物体积极低、每小时高达25个晶圆的高通量、8英寸（200毫米）的最大晶圆尺寸以及改进的表面性能均匀性。TEL UNITY IIE 855 DD拥有先进的生产水平车载气体分配设备，以优化超高真空（UHV）处理性能。该系统是通过使用内部气体动力阀（GDV）在20 Torr至10-9 Torr以下的压力下运行而实现的。它还具有一个脉冲射频等离子体去除装置（PRFS），它通过控制释放的化学物质的数量和提高脉冲速率来改进蚀刻过程。最后，TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD配备了多淋浴头设计，实现了3维均匀膜沉积。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD提供各种特性的紧密膜厚度控制,以支持高厚度精度。这些特性包括高压共沉积（HVCD）、偏置增强高密度等离子体（BEHDP）和多模等离子体（MMP）。HVCD支持超精确厚度控制,而BEHDP控制反应物的数量。利用MMP功能，沉积速率可以向上或向下增加，以实现薄膜特性的微调。这使得不同的薄膜厚度可以应用于基板的不同部分，以最大限度地提高蚀刻工艺。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DD还通过蚀刻、灰泥和阻尼工艺的组合提供独特的清洁能力。蚀刻过程集中于去除基板表面上不需要的元素。灰化过程清除污垢和其他有机污染物。最后，阻尼工艺使用低压气刀在蚀刻和灰化后有效干燥基材。TEL UNITY II E-855DD还提供了废水监视器控制（EMC）,用于在蚀刻和灰化过程中实时检测和监控Cd、Hg和Pb颗粒。此监控功能与监控控制单元集成，并自动过滤有害物质。简而言之,UNITY II E-855DD是一款先进的生产级蚀刻器/asher,可提供卓越的性能和准确性,以确保超低体积工艺节点的最高质量蚀刻和灰度处理结果。其先进的生产级车载气体分配机和独特的清洁能力,以及集成的废水监控控制（EMC）,使Unity IIe 855DD生产超细基材的清脆清洁蚀刻和灰化膜的理想工具。
还没有评论