二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293646424 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一种蚀刻器/asher设备，用于制造高质量的半导体薄膜，用于多种应用。该系统由两个主要组件组成：一个等离子体蚀刻室和一个热壁沉积室。蚀刻室利用预编程配方，以等离子体偏置的方式蚀刻图样，而沉积室则可透过几种等离子体来源之一製造超薄膜。此外，该装置还配备了自动晶片盒式装载机，允许无缝晶片传输。TEL UNITY IIE 855 DD内置了工艺监视器和曲线示踪器，为用户提供了可用于现场监控工艺条件的五英寸彩色液晶显示屏。该机器还配备了一个原位监视器，提供对基板温度、压力、氧气流量和其他工艺参数的精确控制，以便为给定的应用创建所需的薄膜。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD是一个集成的蚀刻/沉积工具，允许用户在单次运行中批量蚀刻和沉积。它包括一个集成的质量流控制器，用于精确调整和监测送入等离子体形成区的气体的溷合物和总流量。该资产能够在广泛的频率范围内产生高达10^13 cm^-3的等离子体密度和微小的自偏置等离子体蚀刻电位,调谐精度高达0.5V。为了减少颗粒污染和提高薄膜质量，TEL Unity IIe 855DD采用了先进的等离子体源清洁技术，不使用蚀刻室外的任何苛刻化学品。该模型包括一个自动的原位清洗程序，可以在蚀刻周期之前和期间清洗等离子体源。最后，设备包括先进的DOVE高速率沉积技术，它结合了独特的高密度等离子体源和低压蚀刻室。这一技术允许沉积更紧密的保形膜，具有更高的蚀刻速率和更好的阶梯覆盖。Unity IIe 855DD是在半导体薄膜沉积和蚀刻领域操作的用户的理想工具。
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