二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293646425 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一款具有三室设计的高性能蚀刻器/asher。它配备了独特的双模蚀刻/灰分方法，将蚀刻和沉积过程单步结合。这种方法能产生很高的生产率、均匀性,并且产生的废物极少。TEL UNITY IIE 855 DD的腔室尺寸为425 x 425 x 200 mm，允许大容量同时处理多个基板。它配备了双轴X-Y扫描能力，允许精确定位蚀刻和沉积。它还有一个可编程的基板升空机构，允许它在以更高的速度运行时以更高的精度运行。蚀刻器/asher还配备了一系列先进的自动化和控制，包括自动晶片装卸、实时远程监控和诊断，以及功能强大的过程控制算法。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD能够自动生成不同应用的最佳蚀刻/灰分配方。此外，它的设计能够在不使用蚀刻气体的情况下工作，使其适用于不同类型的蚀刻和沉积过程。UNITY II E-855DD增加了环境监测系统和氮气喷涌保护系统等安全特性，降低了蚀刻气体爆炸的风险。它还有一个自动清洗系统，不需要频繁的维护。TEL UNITY II E-855DD设计具有宽阔的工艺窗口和高效的等离子体源，适合高通量蚀刻和高质量的沉积应用。总体而言,UNITY II E- 855DD是一款功能强大且用途广泛的蚀刻器/asher,具有许多高级功能。它具有全面的过程控制软件、自动化和安全特性，是高精度蚀刻沉积工艺的绝佳选择。此外，其高效的等离子体源和宽广的工艺窗口使其既适用于高通量的应用，也适用于高质量的应用。