二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293646444 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是专门为光伏（PV）应用而设计的蚀刻器/asher。该设备是一种经济高效且用途广泛的大面积设备制造解决方桉。TEL UNITY IIE 855 DD由气体面板和涡轮泵单元组成。燃气面板提供精确和可预测的氮气气氛，而涡轮泵单元则实现了平稳高效的转移，从而确保了整个蚀刻过程的均匀反应。燃气面板和涡轮泵单元能够实现高精度，确保严格的过程控制。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD还配备了最先进的传感器系统，确保每次都能进行准确一致的处理。它旨在监测关键化学品的压力、温度、流量和分布，使用户能够获得有关该过程的实时数据和分析。这种反馈有助于提供最佳的蚀刻结果，有助于生产高质量和无缺陷的光伏电池。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD具有石英金属热壁CVD,用于蚀刻前的保护性涂层.其工艺速度高达300 mm/min，蚀刻深度在500至1000 nm之间。其腔室尺寸为600 x 600毫米，功率为2 kW。该单元还包括一个电动升降机和倾斜盘，扫描范围为100 x 100毫米。此外,UNITY II E-855DD在设计时考虑到了流程的灵活性,并且可以以最小的工作量快速地将其重新配置为不同的流程配方。这样可以确保用户从快速周转时间中受益,并在生产过程中获得最大的效率。TEL Unity IIe 855DD 蚀刻器/asher是用于PV设备制造的出色解决方桉,可提供精确度、过程控制和数据反馈。它也极具弹性，旨在以最小的努力生产大面积、高品质的蚀刻。
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