二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293759382 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一种先进的蚀刻/asher设备，设计用于处理多种底物和工艺。该系统采用全7英寸板材,可容纳直径不超过8英寸的晶片,为各种应用程序提供经济高效的工艺灵活性。此外,可编程板材配置允许快速、方便地设置,以满足所有流程需求。TEL UNITY IIE 855 DD坚固可靠的设计包括不锈钢内室、先进的工艺控制模块、温度比例、AMAT模型855DD型射频源、直流源、深度蚀刻能力、PECVD高功率源以及附加的处理和蚀刻工艺工具。该单元还配备了带有可选条形码阅读器和手动并行加载选项的20槽开放式框式盒式装载机；以及一个多气体输送装置，具有气体流量监测器、压力调节和控制以及质量流量控制器。该机具有高精度、先进的过程控制工具,用户可以精确设置和维护压力、温度和偏置控制设定点。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD还提供排气控制、NFC清洁开合以及预防性"中止"按钮，以防止意外过程启动或设备损坏。此外，该资产还带有内置的可编程保护，以确保工艺人员和设备的安全。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD提供最多两台显示器,允许用户在处理过程中跟踪温度、压力和其他过程监控参数。该模型采用内置配方存储设备,允许用户一次存储和召回多达128种独特配方。该系统还包括一个10设定压力控制器，用于优化单晶片和批处理的蚀刻过程。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD能够捕获多种数据,包括但不限于蚀刻室时间、压力和温度设定点,以及来自晶圆图像捕获、薄膜测量和光刻胶的其他实时数据。可以收集和报告这些数据以供分析。该单位还提供一个综合健康监测机，用于持续监测和冷却工具的维护。综上所述，TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一种蚀刻/asher资产，提供广泛的中间和高级工艺能力。拥有坚固的不锈钢腔室、综合过滤、先进的公交车监控以及附加的安全元件，该车型高效可靠的同时也提供了成本效益。