二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9109095 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD
ID: 9109095
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Oxide etcher, 8" (2) Chambers 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一种双车道蚀刻器/asher,非常适合工业或大学级生产。它提供了与标准工具(如步进器、机器人和真空室)的高度集成。该设备设计用于支撑多种基材,包括硅片、玻璃、金属和有机材料。它也与几种领先的光刻技术兼容。TEL UNITY IIE 855 DD是一种高性能工具,具有集成的过程控制功能,可实现卓越的吞吐量和可重复的结果。它配备了自动晶圆交换,可以方便、安全地在不同阶段处理多个基板。该855DD还具有高级流程控制功能,可实时反馈流程参数。它可以自动检测异常并做出适当的反应,允许使用最少的操作员交互来实现一致的蚀刻配置文件。在过程控制方面,855DD有一个集成气体排气系统,该系统配备了专有的传感器技术,以确保可靠的蚀刻速率和化学终止。它还具有一个电机控制器来精确管理过程运动和舞台运动速度。该855DD还有一个集成的可追踪性和数据存储单元,用于准确的过程控制。它能够使用集成激光扫描仪读取蚀刻数据和条形码,以改进质量控制和数据存储。该855DD还可以存储和监视设备状态、可追踪性数据和操作历史以及机器故障信息。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD使用基于PC的用户界面,该界面提供全流程控制、监控、数据存储以及一系列报告选项。直观的操作和图形用户界面使得设置和使用变得容易。UNITY II E-855DD除了其高度的集成和控制外,还为可靠性、安全性和软着陆而设计。该工具完全符合国际安全标准,并配有用于安全晶片处理的机械快门和用于控制过程烟雾的保护材料。Unity IIe 855DD是一种易于使用的双车道蚀刻器/asher,适用于工业或大学级生产。它提供了增强的控制和与标准工具的集成,以实现高效的过程控制和数据存储。直观、用户友好的界面和可靠的排气工具使其成为工业环境的理想选择。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD以其高效、安全的操作,是任何生产环境的理想选择。
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