二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9219373 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一种先进的湿蚀刻器和asher工具，设计用于处理半导体晶片和其他基板。此工具能够执行蚀刻、灰分和其他各种相关过程。该855DD配备了全自动集成系统，用于控制工艺环境、优化蚀刻条件和监控晶圆均匀性。该855DD是一种多用途工具，能够执行各种过程，如深反应性离子蚀刻（DRIE）、化学湿蚀刻、氢氟酸（HF）蚀刻、RIE/蚀刻/灰分、湿灰和离子铣削。该855DD采用场发射扫描电子显微镜（FESEM）等边缘技术，对工艺室环境和晶圆均匀性进行监测和控制。此外，855DD蚀刻器材料能够加热到400°C，以便于蚀刻过程。该855DD还具有四个自动流程预置,可轻松设置和易用性。该855DD专为在集成系统中实现蚀刻和灰化过程而设计。此集成可确保在整个蚀刻和灰化过程中获得最佳结果。该855DD包含了广泛的流程选项,能够严格控制多个流程参数,以实现所需的结果。它配有一个自动桥，用于监测和控制氧化和蚀刻过程的均匀性。该855DD是一种通用工具，可用于各种半导体工艺。它具有集成的过程控制环境、高科技特性和自动化功能,因此非常高效。此蚀刻器和asher工具提供可靠的结果,有助于最大限度地提高效率并减少制造周期。该855DD能够通过配置不同的晶圆蚀刻和灰化工艺来执行干湿蚀刻和灰分操作,以满足各种应用的特殊需求。