二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9246928 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一种针对半导体器件制造中的多种应用而设计的蚀刻器/asher。它是一种垂直加载蚀刻器/asher，能够产生高质量的蚀刻图桉和asher蚀刻轮廓。它的高级设计旨在提供最大吞吐量和统一的工艺条件,以确保最高级别的设备可靠性。TEL UNITY IIE 855 DD利用脉冲反向变压器（PRT）实现最大谐振蚀刻性能。它配备了TLD32过程控制软件（PCS）,可确保准确且可重复的过程周期,以获得最佳的蚀刻轮廓和灰度结果。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD还加入了真空门（VG），使腔室压力在蚀刻和灰化操作中得以精确维持。Unity IIe 855DD具有许多高级功能,可确保可重复和可靠的处理。其中包括具有气体分配系统的高重要性腔室、先进的闭环热电冷却环路和二维端点检测。腔室还被不锈钢波纹管系统包围，以减少任何压力变化。腔室压力也在旋转质量流量计中监测。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD能够处理尺寸不超过783mm x 858mm的底物。它旨在提供一致的工艺窗口和吞吐量,以实现最大效率,蚀刻图样深度从40 µm到600µm不等。蚀刻器/asher还配备了大型晶片加载系统，从而支持多种配方，针对每个应用进行了优化。UNITY II E-855DD旨在满足设备制造中可靠性和可重复性的最高标准。它在850°C的最高温度和高达10 mTorr的工艺压力下运行。蚀刻器/asher带有RS-232和IEEE-488.2接口,用于远程操作和数据跟踪。蚀刻器/asher也可以使用最新的控制和诊断系统进行升级。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD是一种先进可靠的用于先进半导体器件制造的蚀刻器/灰化器解决方桉。它旨在提供高吞吐量和一致性,以获得最佳效果。其先进的特性和系统使其能够满足半导体制造的严格要求。此蚀刻器/asher能够产生高质量的材料图样和工艺轮廓,同时保持其卓越的可靠性和可重复性。