二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9303715 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一种用于制造多种器件或基板的高端蚀刻/灰烬设备。其先进的控制系统和直观的用户界面提供了卓越的性能。该单元有六个独立的工艺室，包括一个晶圆载体，最多可容纳八（8）个300 mm晶圆或四（4）个600 mm晶圆。它利用高精度线性电动机驱动器实现快速、精确的运动控制,从而实现更快的处理时间和更高的生产率。TEL UNITY IIE 855 DD旨在简化维护并提高可维护性。卸载的工序室可以完全拆除，以进行清洁和维护，简化工序并大幅减少停机时间。这台机器还有一个内置的默认例程，可以最大程度地减少晶圆制备所花费的时间，从而节省更多的处理时间。为了保证质量，TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD有许多特点。该工具符合GEM、SEMI 6.3和SEMI 14等行业标准。其独特的高级控制资产利用实时数据收集和反馈来控制和优化蚀刻和灰烬参数。此外，还对所有工艺步骤进行监测和控制，以改进半导体工艺。为方便操作,UNITY II E-855DD包括一个用户友好的图形界面。这允许用户自定义设置并快速调用重复函数的流程配方。还提供屏幕上的帮助和故障排除建议。此外,机载诊断系统还可以轻松识别问题并快速解决问题。最后，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD是一种有效的半导体制造和研发工作蚀刻/灰分模型。它的高级控制和性能功能确保了卓越的处理效果,而其用户友好的界面和板载诊断系统有助于最大限度地减少在设置和维护上花费的时间。