二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DI #293645125 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DI 蚀刻器/asher是一种高性能的薄膜加工设备，具有处理广泛底物的能力。这种蚀刻器/灰化器采用先进技术制造，能够以极其精确的控制来去除和沉积薄膜和层。TEL Unity IIe 855DI 蚀刻器/asher配备了先进的CCD成像系统,可实时监控流程性能。此单元允许进行高度精确的端点检测,以及自动调整以考虑需要梯度密度或其他复杂配置文件的配方。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DI由车载电阻式直流电源供电。此电源以及自动覆盖保护机器可确保在整个过程中保持最佳操作参数,从而提供一致的结果和改进的过程可重复性。UnityIIe 855DI利用最先进的淋浴头式等离子体源进行蚀刻和沉积膜。该源设计用于将能量高效传输到工作表面,从而实现高效加热和冷却。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DI 蚀刻器/asher还具有一系列可定制的功能,可为用户提供更高程度的控制。这些功能包括完全集成的晶圆处理程序、多区域热处理、自动级控制以及全方位的用户可选操作参数。总体而言,TEL Unity IIe 855DI 蚀刻器/asher是一种功能强大、用途广泛的工具,能够处理各种基材和工艺。凭借其实时监控能力和先进的工艺参数，这一资产是任何薄膜工艺的绝佳选择。
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