二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP #293645124 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DP是一种为微电子器件制造而设计的先进蚀刻/asher设备。该系统具有许多先进的功能,使其与竞争对手脱颖而出。通过将可调节的晶圆升力与允许自动调节以优化薄膜生长均匀性的工艺控制单元集成在一起，设计出最佳的效率和吞吐量。该机还具有较大的腔室尺寸，为处理更大的晶片提供了更大的灵活性和工作空间。TEL Unity IIe 855DP具有独特的双频蚀刻工艺，允许它在高频和低频同时蚀刻，不需要多个蚀刻器。此功能可确保在不同晶圆尺寸上实现完整的蚀刻均匀性,同时还可提高吞吐量。此外,该工具的软件用途广泛,可以根据应用程序来适应自定义配方。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP能够以快速的处理速度蚀刻高品质的薄膜。它可以蚀刻直径达8英寸、厚度达8英寸的薄膜，每晶圆只需3.5分钟。该资产还与众多工艺气体兼容，如CF4、CHF3、SF6、Ar/N2和He/N2，使其能够蚀刻不同的材料。它还具有高电流设计（最高500A）和精确匹配的网络，以帮助减少影片中的高频噪声。该模型还包括多种传感器，如涡流传感器、离子计、双压力电离室以及用于测量蚀刻过程剂量反馈的数字电容EV设备。这样可以实现精确的蚀刻条件并提高晶片的均匀性。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP也有两个内建的製程端显示器，提供对薄膜沉积和蚀刻深度的精确控制。UnityIIe 855DP 蚀刻器/asher的设计是为了使微电子器件的蚀刻和灰化具有最大的性能和精度。其双频蚀刻工艺、高电流设计、大腔室尺寸、多种传感器，非常适合广泛的蚀刻和灰化应用。其快速的蚀刻循环时间和与许多工艺气体的兼容性使其成为高通量设备制造的理想选择。
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