二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP #293646577 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DP是一个蚀刻器/asher。它是一种先进的湿蚀刻器/asher设备，专为需要高蚀刻和清洁能力的半导体工艺应用而设计。该系统用于制造微电子和光子器件，如显示器和芯片，其中材料的精确蚀刻是必不可少的。该机组装有集成的水力机械扫掠脉冲，利用沉淀力和阻力两种方式移动板面上的晶片。这样就可以在整个蚀刻周期中有效地去除材料并保持基板的平整度。此外，集成冷却气体分配机，CGD，保持所有的加工室组件达到不安全的温度。这样可以确保工具在任何时候都能以安全和受控的方式操作。TEL Unity IIe 855DP具有先进的蚀刻和清洁功能。它配备了脉冲蚀刻工艺，同时使用氙气和氯气在基板上蚀刻设计和图样，而内部视频监视器确保这些图样的精确蚀刻。此外,该资产允许使用等离子体和RCA清洁剂等介质清除蚀刻过程中残留在基板上的残留物。该模型设计为高速运行，最大吞吐量可达16晶片同步/秒。它还配备了多种温度控制、脉冲和循环时间，以及真空卡带和卡带交换功能。即使在最具挑战性的蚀刻和清洁应用程序中,这也可以实现可靠和可重复的结果。此外，该设备还有一个基于网络的控制和监测软件，可用于远程管理和数据收集。总体而言，TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP是一款用途广泛、精密的蚀刻器/asher。它配备了一系列功能,使其能够获得较高的蚀刻和清洁能力,同时提供对整个过程的精确控制。这使得它成为微电子和光子器件制造中必不可少的工具。
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