二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #197628 待售
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ID: 197628
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Oxide etcher, 8"
(2) chambers
Mass flow controller
GAS #1 C4F8 50
GAS #2 CH2F2 50
GAS #3 O2 200
GAS #4 CO 300
GAS #5 AR 1SLM
GAS #6 CHF3 100
GAS #7 CF4 100
GAS #8 C4F8 50
Pressure controller
P/V (PC1) VAT 65048-JH52
P/V (PC2) VAT 65048-JH52
Robot
Robot Controller YASKAWA SRC-Ⅱ016
TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
Generator (PC1) DAIHEN WAG-30C
Generator (PC2) DAIHEN WAG-30C
Matcher (PC1) DAIHEN CB-13A
Matcher Controller (PC1)
Matcher (PC2) DAIHEN CB-13A
Matcher Controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
T/C TMP Controller
HDD DISK (DATA) HDS722580
HDD DISK (S/W) HDS722580
AC Rack (PCB Board)
SVA011: Not attached
TEB107: Not attached
SMM162: Not attached
GST-M-SET: Not attached
TVB0008
TVB0010-1: Not attached
TC(PCB BOARD)
COM
DIO1
DIO2
MAIO
ILK
PC1(PCB BOARD)
APC: not attached
DIO
MAIO
COM
TEMP
PC2(PCB BOARD)
APC: not attached
DIO
MAIO
COM
TEMP
Robot controller missing
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS是一种用于半导体制造的高端蚀刻器/灰化器。它旨在为半导体元件的制造提供精密蚀刻和灰化工艺，如互连层、透硅通孔（TSV）和MEMS器件。TEL Unity IIe 855DS具有高度精确的两轴卡带到卡带传输设备和先进的控制系统。这使蚀刻器/asher能够提供精确、稳定的蚀刻和灰化过程,并提高均匀性和可控性。处理室在较高的温度下比标准蚀刻器/灰烬增强，这使得它可以达到较高的蚀刻速率。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS还包含独特的高级功能，如多功能气流控制、高级工艺配方、闭环、自检保护、自动流产以及先进的运行结束检测。这确保了较高的工艺效率、改进的质量控制以及可靠的蚀刻和灰化经验。UnityIIe 855DS设计用于处理各种晶圆尺寸,最大可达8英寸。它能够每小时运行600个晶圆,并确保周期时间短。这使得蚀刻器/asher适合广泛的半导体生产需求。它利用先进的工艺技术，如OPC-RI/RIE、带状灰泥、蚀刻-停止蚀刻和退火等。在安全性和环境特性方面，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS采用认证的超低泄漏阀。这确保了极为紧密的密封，并有助于防止任何气体泄漏到周围环境中。此外，蚀刻器/粉碎机使用各种低毒性的加工气体，并有一个综合安全装置，旨在监测危险气体的水平。TEL Unity IIe 855DS总机高仅70厘米,体积小巧,适合广泛的行业空间。它也是一种高效的工具，可确保降低运营成本。简而言之，TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS是一种精密高效的半导体制造蚀刻器/灰化器，提供工艺精密、质量控制和可靠性。它以高性能、环境安全和低运营成本着称。
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