二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #293645123 待售

ID: 293645123
Oxide etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS是一种用于清洁和平面化晶片的蚀刻器/asher。它是一种模块化设备,可以处理直径达300 mm的晶片的处理。该系统的主要特点包括高分辨率平面化机构、条带式样品加载机构和自动样品传输装置。它配备了高精度的抗蚀剂显示器和先进的薄膜厚度分析仪,以确保整个过程的质量控制。此外,该装置设计为提供与几种工艺化学和温度兼容的高通量平面化工艺。TEL Unity IIe 855DS由一台先进而健壮的微控制器机驱动,它最大限度地降低了数据错误的风险,并允许用户精确调整工具的设置。它的控制界面方便用户,并提供分步指令,以确保准确性、效率和安全的工作环境。它还提供了多个流程自定义选项,例如手动配方修改和多步骤操作模式。此外,资产受到防腐蚀剂的保护,使其能够使用各种浆液。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS由先进的排气模型支持,可确保适当的空气流动和通风。还配有主动升降机设备,方便调节晶圆的位置,进行优化处理。该系统还具有一个内置的自动清洗单元,这有助于保持机器的清洁度和防止缺陷发生。此外,它的可编程托盘装载机工具有助于将晶片从一个工艺有效地转移到另一个工艺。Unity IIe 855DS的总体设计侧重于提供易于使用、可靠且节能的资产。它的体系结构为它提供了快速的运行时间,从而缩短了周期时间,同时保持了最高级别的流程效率。它的综合安全功能为用户提供了更多的安心,这在处理腐蚀性和危险化学品时尤为重要。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS是一种先进的蚀刻器/asher模型,旨在为用户提供可靠、节能、易于使用的晶圆清洁和平面化解决方桉。该装置具有运行时间快、可编程托盘装载机、主动电梯设备和自动清洗系统,非常适合半导体制造等相关应用。
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