二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #293764217 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS是为高精度晶圆处理而设计的高级蚀刻器/asher。该设备将先进的TEL UV-6700动态均匀性控制（DUC）与最先进的光学封装结合在一起，提供卓越的工艺效果。该系统是围绕先进的硅绝缘体（SOI）基板支架构建的。基板支架既可容纳标准硅片，也可容纳大面积玻璃基板（LAGS）和替代SOI结构等新型基板。持有人配备了真空进料通路，使蚀刻过程中的蚀刻气体能够精确地送入晶圆表面。该单元还采用了TOKYO ELECTRON新的先进PC-TDC（基于PC的调谐和诊断控制）技术。这台机器允许实时监测和调整诸如气体输送、压力、蚀刻持续时间、温度和真空等蚀刻参数。它提供了整个蚀刻过程及其参数的全面视图，实现了精确的微调和快速优化。TEL Unity IIe 855DS利用高性能的光学封装,可以准确分析晶圆的轮廓和地形。先进的光学封装可以检测晶圆上的微小特征，并提供进一步后处理的数据。此外，该工具还配备了先进的晶圆对准和跟踪资产。该模型能够精确对准和跟踪非标准基板和抗蚀剂，并允许微调蚀刻参数以获得所需的工艺结果。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS是一种全自动蚀刻/asher设备,具有高精度性能。它为用户提供了一个先进的平台，以有效和精确地处理各种晶圆基板。Unity IIe UV-6700结合了先进的855DS DUC技术、直观的PC-TDC系统和宽广的光学封装,提供了最先进的蚀刻和灰化性能。