二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9071931 待售
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ID: 9071931
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Oxide etcher, 8"
(2) Chambers
Wafer type: flat-zone
Rack type: V1 rack
Processing type: vacuum
Wafer loading type: normal
MFC:
GAS #1 C4F8 50
GAS #2 Ar 1000
GAS #3 SF6 100
GAS #4 CHF3 100
GAS #5 O2 20
GAS #6 CF4 200
GAS #7 PN2 100
GAS #8 CO 200
APC: VAT 61146-PH02-ABM1
Gauges:
Baratron CELERITY CDLD0112E 0~1TORR
Baratron TYRAN GENERAL CDL0112E 0~1TORR
Baratron MKS 622A01TDE 1PA
Convectron G/PHILLIPS 275203
TMP MITSUBISHI E-0776
TMP Controller MITSUBISHI FT-1200W
Robot YASKAWA VS2E
Robot Controller YASKAWA SRC-Ⅱ013
Generator PERAL LT-2000-800K; PERAL RP-3000-27M
6.Matcher PERAL M-30AW2VD-27M; PERAL M-20A2LS-V2
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855II是一种用于多种行业的蚀刻/灰化机。它是一种功能强大、节能的工具，旨在快速、精确地蚀刻/清除各种基材。它具有强大的设计和先进的工艺技术,用于蚀刻/灰化工艺。TEL UNITYIIE-855 II能够处理硅（Si）、磷化铵（InP）、砷化的的二维（2D）和三维（3D）结构（GaAs）、电基板和其他珍贵材料。它旨在创建统一的表面纹理,并提供高蚀刻/灰化率,同时保持最终产品的最高质量。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II拥有广泛的工艺参数，包括压力、时间、温度和基板厚度。它具有四区等离子体源、灵活的软件控制以及快速的启动时间。机器提供的易于使用和精确的控制，使得基板的可靠和可重复蚀刻/灰化。TEL UNITY IIE 855 II专为最高效率而设计,并与各种工具和系统集成。该机能够处理多个晶圆，并且可以与多种特殊工具配合使用，以支援各种蚀刻/ashing工艺要求。它还与其他TEL/TOKYO设备兼容，如晶圆处理器、顶置炉和FOUP装载机，以创建一个完整而高效的系统。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II是一款业界领先的蚀刻/灰化机,旨在提供高质量的结果以及广泛的参数和设备。它具有强大而多样的功能,是加工各种高精度、高精度和可重复性材料的理想选择。
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